O chionn ghoirid, tha mòran de luchd-cleachdaidh air faighneachd mu na buannachdan agus na h-eas-bhuannachdan a thaobh teicneòlas còmhdach sputtering, A rèir riatanasan ar luchd-ceannach, a-nis bidh eòlaichean bho Roinn Teicneòlais RSM a ’roinn leinn, an dòchas fuasgladh fhaighinn air duilgheadasan.Is dòcha gu bheil na puingean a leanas ann:
1 、 Sputtering magnetron neo-chothromach
Leis nach eil an flux magnetach a tha a’ dol tro cheann a’ phòla magnetach a-staigh agus a-muigh den chatod sputtering magnetron co-ionann, is e catod sputtering magnetron neo-chothromach a th’ ann.Tha raon magnetach an catod sputtering magnetron àbhaisteach dlùth faisg air an uachdar targaid, fhad ‘s a tha raon magnetach an catod sputtering magnetron neo-chothromach a’ gluasad a-mach às an targaid.Tha raon magnetach an catod magnetron àbhaisteach a’ cuingealachadh gu teann air a ’phlasma faisg air an uachdar targaid, fhad‘ s a tha am plasma faisg air an t-substrate gu math lag, agus cha bhith an t-substrate air a spreadhadh le ianan làidir agus dealanan.Faodaidh an raon magnetach catod magnetron neo-chothromach am plasma a leudachadh fada air falbh bhon uachdar targaid agus an t-substrate a bhogadh.
2, tricead rèidio (RF) sputtering
Prionnsabal tasgadh film inslithe: tha comas àicheil air a chuir an sàs anns an stiùiriche a tha air a chuir air cùl an targaid inslithe.Anns a’ phlasma sgaoilidh glaodh, nuair a bhios am plàta treòrachaidh ian dearbhach a’ luathachadh, bidh e a’ spreadhadh an targaid inslithe air a bheulaibh gu sputter.Chan fhaod an sputtering seo mairsinn ach airson 10-7 diogan.Às deidh sin, tha an comas adhartach a tha air a chruthachadh leis a ’chosgais adhartach a tha air a chruinneachadh air an targaid insulation a’ cuir an aghaidh a ’chomas àicheil air a’ phlàta stiùiridh, agus mar sin thathas a ’stad a’ spreadhadh ianan dearbhach àrd-lùth air an targaid insulation.Aig an àm seo, ma thèid polarity an t-solair cumhachd a thionndadh air ais, bidh na dealanan a 'bualadh air a' phlàta inslithe agus a 'neodachadh a' chosgais adhartach air a 'phlàta inslithe taobh a-staigh 10-9 diogan, a' dèanamh an comas neoni.Aig an àm seo, faodaidh tionndadh air ais polarity an t-solair cumhachd sputtering a thoirt gu buil airson 10-7 diogan.
Buannachdan sputtering RF: faodar an dà chuid targaidean meatailt agus targaidean dielectric a spùtadh.
3, DC magnetron sputtering
Bidh an uidheamachd còmhdach sputtering magnetron a ’meudachadh an raon magnetach ann an targaid catod sputtering DC, a’ cleachdadh feachd Lorentz an raon magnetach gus slighe electronan a cheangal agus a leudachadh anns an raon dealain, a ’meudachadh an cothrom bualadh eadar dealanan agus dadaman gas, a’ meudachadh an ìre ionization de dadaman gas, a’ meudachadh na h-àireimh de ianan àrd-lùth a bhios a’ bualadh air an targaid agus a’ lughdachadh na h-àireamh de eleactronan àrd-lùth a bhios a’ bualadh air an t-substrate plataichte.
Buannachdan sputtering magnetron planar:
1. Faodaidh an dùmhlachd cumhachd targaid ruighinn 12w/cm2;
2. Faodaidh an bholtadh targaid ruighinn 600V;
3. Faodaidh an cuideam gas ruighinn 0.5pa.
Eas-bhuannachdan de sputtering magnetron planar: tha an targaid a ’cruthachadh sianal sputtering anns an raon-laighe, tha sgrìobadh an uachdar targaid gu lèir neo-chòmhnard, agus chan eil ìre cleachdaidh na targaid ach 20% - 30%.
4, tricead eadar-mheadhanach AC magnetron sputtering
Tha e a’ toirt iomradh air sin anns an uidheamachd sputtering magnetron AC tricead meadhanach, mar as trice tha dà thargaid leis an aon mheud agus cumadh air an rèiteachadh taobh ri taobh, ris an canar gu tric targaidean càraid.Tha iad nan ionadan crochte.Mar as trice, bidh dà thargaid air an cumhachd aig an aon àm.Ann am pròiseas sputtering reactive AC magnetron tricead meadhanach, tha an dà thargaid ag obair mar anod agus catod mu seach, agus bidh iad ag obair mar anod catod a chèile san aon leth chearcall.Nuair a tha an targaid aig comas leth-chearcall àicheil, tha an uachdar targaid air a bhomadh agus air a spùtadh le ionsan dearbhach;Anns an leth chearcall adhartach, tha na dealanan plasma air an luathachadh chun uachdar targaid gus a ’chosgais adhartach a tha air a chruinneachadh air uachdar inslithe an uachdar targaid a neodachadh, a tha chan ann a-mhàin a’ cuir às do lasadh an uachdar targaid, ach cuideachd a ’cur às don iongantas“ anod à sealladh."
Is iad na buannachdan bho sputtering ath-ghnìomhach targaid dùbailte tricead eadar-mheadhanach:
(1) Ìre tasgaidh àrd.Airson targaidean silicon, tha an ìre tasgaidh de sputtering reactive tricead meadhanach 10 tursan nas àirde na sputtering reactive DC;
(2) Faodar am pròiseas sputtering a dhèanamh seasmhach aig an àite obrachaidh stèidhichte;
(3) Thathas a’ cur às don iongantas “lasadh”.Tha dùmhlachd locht an fhilm inslithe ullaichte grunn òrdughan meud nas lugha na an dòigh sputtering DC reactive;
(4) Tha teòthachd substrate nas àirde buannachdail airson càileachd agus gèilleadh an fhilm a leasachadh;
(5) Ma tha solar cumhachd nas fhasa a bhith co-ionnan ris an targaid na solar cumhachd RF.
5 、 Reactive magnetron sputtering
Anns a’ phròiseas sputtering, thèid an gas ath-bhualadh a bhiadhadh gus freagairt leis na gràinean sputtered gus filmichean toinnte a dhèanamh.Faodaidh e gas reactive a thoirt seachad gus dèiligeadh ris an targaid todhar sputtering aig an aon àm, agus faodaidh e cuideachd gas reactive a thoirt seachad gus dèiligeadh ris an targaid sputtering meatailt no alloy aig an aon àm gus filmichean toinnte ullachadh le co-mheas ceimigeach sònraichte.
Buannachdan filmichean coimeasgaichte magnetron reactive:
(1) Is e na stuthan targaid agus na gasaichean ath-bhualadh a thathar a’ cleachdadh ocsaidean, naitridean, hydrocarbons, msaa, a tha mar as trice furasta toraidhean fìor-ghlan fhaighinn, a tha cuideachail ann a bhith ag ullachadh filmichean toinnte àrd-ghlan;
(2) Le bhith ag atharrachadh paramadairean a’ phròiseis, faodar filmichean ceimigeach no neo-cheimigeach ullachadh, gus an urrainnear feartan nam filmichean atharrachadh;
(3) Chan eil teòthachd an t-substrate àrd, agus chan eil mòran chuingealachaidhean air an t-substrate;
(4) Tha e freagarrach airson còmhdach èideadh sgìre mhòr agus a’ toirt a-mach cinneasachadh gnìomhachais.
Ann am pròiseas sputtering magnetron reactive, tha neo-sheasmhachd sputtering todhar furasta a nochdadh, gu sònraichte a’ toirt a-steach:
(1) Tha e doirbh targaidean coimeasgaichte ullachadh;
(2) An t-iongantas de bhualadh arc (sgaoileadh arc) air adhbhrachadh le puinnseanachadh targaid agus neo-sheasmhachd pròiseas sputtering;
(3) Ìre tasgaidh sputtering ìseal;
(4) Tha dùmhlachd locht an fhilm àrd.
Ùine puist: Iuchar-21-2022