Co-roinnidh comhairliche teignigeach RSM riut na buannachdan bho thargaidean sputtering magnetron siolandair agus planar?An coimeas ri targaidean sputtering magnetron eile, tha targaidean sputtering magnetron siolandair agus planar a’ cumail na buannachdan bho èideadh còmhdach math de thargaidean planar ceart-cheàrnach, agus faodaidh iad cleachdadh thargaidean a mheudachadh tron dà dhòigh a leanas:
(1) Nuair a ruigeas an dà bhuidheann (ceithir) de shlocan cruinne air uachdar an targaid doimhneachd sònraichte, faodar an cridhe targaid (pàirt magnet) a thionndadh 45 ° an coimeas ris an tiùb targaid, gus am bi raointean eile air an tiùb targaid nach eil air an corrachadh a chleachdadh;
(2) Nuair a tha cridhe targaid an targaid sputtering magnetron siolandair agus planar air a dhealbhadh mar chridhe targaid rothlach (tha an cridhe targaid a ’tionndadh aig àm sputtering), faodar uachdar an targaid a spùtadh gu cothromach far còmhdach le còmhdach às aonais slocan.Aig an àm seo, thèid an targaid a chleachdadh gu h-èifeachdach, agus faodaidh ìre cleachdadh na targaid ruighinn 50% ~ 60% Nuair a tha an stuth targaid meatailt luachmhor, tha seo gu follaiseach air leth cudromach.
Le bhith a’ cleachdadh prionnsapal magnet le bròg pòla ann an targaid sputtering magnetron siolandair coaxial gus fuasgladh fhaighinn air duilgheadas raon magnetach deireadh, faodar an targaid plèana ceart-cheàrnach a thionndadh gu bhith na thargaid sputtering magnetron siolandair agus planar, faodaidh an targaid ìre cleachdaidh an targaid a mheudachadh. agus aig an aon àm a 'cumail an èideadh còmhdach math an targaid plèana ceart-cheàrnach Gus buannachdan eaconamach a leasachadh.
Ùine puist: Iuchar-04-2022