Mar a tha fios againn uile, tha an gluasad leasachaidh de theicneòlas stuthan targaid ceangailte gu dlùth ri gluasad leasachaidh teicneòlas film anns a ’ghnìomhachas tagraidh sìos an abhainn.Le leasachadh teicneòlach air toraidhean film no co-phàirtean ann an gnìomhachas an tagraidh, bu chòir an teicneòlas targaid atharrachadh cuideachd.Mar eisimpleir, o chionn ghoirid tha luchd-saothrachaidh Ic air fòcas a chuir air leasachadh uèirleadh copair resistivity ìosal, a thathar an dùil a chuireas an àite am film alùmanum tùsail gu mòr anns na beagan bhliadhnaichean a tha romhainn, agus mar sin bidh leasachadh targaidean copair agus na targaidean bacaidh riatanach aca èiginneach.
A bharrachd air an sin, anns na bliadhnachan mu dheireadh, tha taisbeanadh pannal còmhnard (FPD) gu ìre mhòr air a dhol an àite a’ mhargaidh taisbeanaidh coimpiutair agus telebhisean stèidhichte air catode-ray tube (CRT).Meudaichidh e gu mòr an t-iarrtas teicnigeach agus margaidh airson targaidean ITO.Agus an uairsin tha an teicneòlas stòraidh ann.Tha an t-iarrtas airson draibhearan cruaidh àrd-dùmhlachd, comas-mòr agus diosgan àrd-dùmhlachd a ghabhas an sguabadh às a’ sìor dhol am meud.Tha iad sin uile air leantainn gu atharrachaidhean san iarrtas airson stuthan targaid ann an gnìomhachas an tagraidh.Anns na leanas, bheir sinn a-steach na prìomh raointean tagraidh targaid agus gluasad leasachaidh targaid anns na raointean sin.
1. Microelectronics
Anns a h-uile gnìomhachas tagraidh, tha na riatanasan càileachd as teann aig a ’ghnìomhachas semiconductor airson filmichean sputtering targaid.Tha wafers silicon de 12 òirleach (300 epistaxis) a-nis air an dèanamh.Tha leud an eadar-cheangail a’ dol sìos.Is e riatanasan luchd-saothrachaidh wafer silicon airson stuthan targaid sgèile mhòr, purrachd àrd, sgaradh ìosal agus gràin mìn, a dh’ fheumas microstructure nas fheàrr a bhith aig na stuthan targaid.Thathas air beachdachadh air trast-thomhas gràin criostalach agus èideadh an stuth targaid mar na prìomh nithean a tha a’ toirt buaidh air ìre tasgaidh film.
An coimeas ri alùmanum, tha neart electromobility nas àirde aig copar agus resistivity nas ìsle, a choinnicheas ri riatanasan teicneòlas stiùiridh anns an uèirleadh submicron fo 0.25um, ach bheir e duilgheadasan eile: neart adhesion ìosal eadar copar agus stuthan meadhanach organach.A bharrachd air an sin, tha e furasta freagairt, a tha a’ leantainn gu corrachadh an eadar-cheangail copair agus briseadh cuairteachaidh nuair a thathar a’ cleachdadh a’ chip.Gus an duilgheadas seo fhuasgladh, bu chòir còmhdach bacaidh a shuidheachadh eadar an copar agus an ìre dielectric.
Tha na stuthan targaid a thathas a’ cleachdadh anns an ìre bacaidh de eadar-cheangal copair a’ toirt a-steach Ta, W, TaSi, WSi, msaa. Ach tha Ta agus W nan meatailtean teasairginn.Tha e an ìre mhath duilich a dhèanamh, agus thathas a’ sgrùdadh aloidhean leithid molybdenum agus cromium mar stuthan eile.
2. Airson an taisbeanaidh
Tha taisbeanadh pannal còmhnard (FPD) air buaidh mhòr a thoirt air a’ mhargaidh coimpiutair agus telebhisean stèidhichte air tiùb catode-ray (CRT) thar nam bliadhnaichean, agus bidh e cuideachd a’ stiùireadh teicneòlas agus iarrtas margaidh airson stuthan targaid ITO.Tha dà sheòrsa targaidean ITO ann an-diugh.Is e aon a bhith a’ cleachdadh staid nanometer de indium oxide agus tin oxide pùdar às deidh sintering, is e am fear eile targaid indium tin alloy a chleachdadh.Faodar film ITO a dhèanamh le sputtering reactive DC air targaid indium-tin alloy, ach bidh an uachdar targaid oxidize agus a ’toirt buaidh air an ìre sputtering, agus tha e duilich targaid alloy meud mòr fhaighinn.
An-diugh, thathas a’ cleachdadh a’ chiad dòigh sa chumantas gus stuth targaid ITO a thoirt gu buil, a tha a’ spùtadh còmhdach le bhith a’ spùtadh freagairt magnetron.Tha ìre tasgaidh luath aige.Faodar smachd ceart a chumail air tiugh an fhilm, tha an giùlan àrd, tha cunbhalachd an fhilm math, agus tha adhesion an t-substrate làidir.Ach tha e duilich an stuth targaid a dhèanamh, oir chan eil indium oxide agus tin oxide furasta an sintearachd còmhla.San fharsaingeachd, tha ZrO2, Bi2O3 agus CeO air an taghadh mar chur-ris sintering, agus gheibhear an stuth targaid le dùmhlachd de 93% ~ 98% den luach teòiridheach.Tha deagh dhàimh aig coileanadh film ITO a chaidh a chruthachadh san dòigh seo leis na stuthan cur-ris.
Tha an aghaidh bacaidh de fhilm ITO a gheibhear le bhith a’ cleachdadh an leithid de stuth targaid a’ ruighinn 8.1 × 10n-cm, a tha faisg air resistivity film fìor-ghlan ITO.Tha meud FPD agus glainne giùlain gu math mòr, agus faodaidh leud glainne giùlain eadhon 3133mm a ruighinn.Gus cleachdadh stuthan targaid a leasachadh, tha stuthan targaid ITO le diofar chumaidhean, leithid cumadh siolandair, air an leasachadh.Ann an 2000, thug an Coimisean Dealbhaidh Leasachaidh Nàiseanta agus Ministrealachd an Saidheans agus Teicneòlais a-steach targaidean mòra ITO anns an Stiùireadh airson Prìomh Raointean de Ghnìomhachas Fiosrachaidh le Prìomhachas airson Leasachadh an-dràsta.
3. Cleachdadh stòraidh
A thaobh teicneòlas stòraidh, tha leasachadh diosgan cruaidh àrd-dùmhlachd agus comas mòr a 'feumachdainn àireamh mhòr de stuthan film earbsa mòr.Tha am film ioma-fhilleadh CoF ~ Cu na structar de fhilm earbsa mòr.Tha an stuth targaid alloy TbFeCo a tha a dhìth airson diosc magnetach fhathast ga leasachadh.Tha na feartan aig an diosc magnetach a chaidh a dhèanamh le TbFeCo le comas stòraidh mòr, beatha seirbheis fhada agus comasachd neo-conaltraidh a-rithist.
Sheall cuimhne atharrachadh ìre stèidhichte air Antamony germanium telluride (PCM) comas malairteach mòr, a’ tighinn gu bhith na phàirt de chuimhne flash NOR agus margaidh DRAM mar theicneòlas stòraidh eile, ge-tà, ann a bhith ga bhuileachadh nas luaithe sìos aon de na dùbhlain a tha air an rathad gu bhith ann tha dìth ath-shuidheachadh. faodar an riochdachadh gnàthach a lughdachadh tuilleadh aonad làn seulaichte.Le bhith a’ lughdachadh sruth ath-shuidheachadh a’ lughdachadh caitheamh cumhachd cuimhne, a’ leudachadh beatha bataraidh, agus a’ leasachadh leud-bann dàta, a h-uile feart cudromach ann an innealan luchd-cleachdaidh a tha stèidhichte air dàta agus a tha gu math so-ghiùlain.
Ùine puist: Lùnastal-09-2022