1. Magnetron sputtering dòigh:
Faodar sputtering Magnetron a roinn ann an sputtering DC, sputtering tricead meadhanach agus sputtering RF
A. Tha solar cumhachd sputtering DC saor agus tha dùmhlachd film tasgaidh truagh.San fharsaingeachd, thathas a’ cleachdadh bataraidhean photothermal dachaigheil agus film tana le lùth ìosal, agus is e an targaid sputtering targaid meatailt giùlain.
B. Tha an lùth sputtering RF àrd, agus faodaidh an targaid sputtering a bhith neo-ghiùlain targaid no targaid giùlain.
C. Faodaidh targaid sputtering tricead meadhanach a bhith na thargaid ceirmeag no targaid meatailt.
2. Seòrsachadh agus cur an gnìomh targaidean sputtering
Tha iomadh seòrsa de thargaidean sputtering ann, agus tha na dòighean seòrsachaidh targaidean eadar-dhealaichte cuideachd.A rèir an cumadh, tha iad air an roinn ann an targaid fhada, targaid ceàrnagach agus targaid cruinn;A rèir an sgrìobhaidh, faodar a roinn ann an targaid meatailt, targaid alloy agus targaid todhar ceirmeag;A rèir diofar raointean tagraidh, faodar a roinn ann an targaidean ceramaig co-cheangailte ri semiconductor, a’ clàradh thargaidean ceirmeag meadhanach, targaidean ceirmeag taisbeanaidh, msaa. Tha targaidean sputtering air an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an gnìomhachasan dealanach agus fiosrachaidh, leithid gnìomhachas stòraidh fiosrachaidh.Anns a ’ghnìomhachas seo, thathas a’ cleachdadh targaidean sputtering gus toraidhean film tana iomchaidh ullachadh (diosg cruaidh, ceann magnetach, diosc optigeach, msaa).An-dràsta.Le leasachadh leantainneach ann an gnìomhachas fiosrachaidh, tha an t-iarrtas airson targaidean meadhanach ceirmeag a chlàradh sa mhargaidh a’ dol am meud.Tha rannsachadh agus cinneasachadh targaidean meadhanach clàraidh air a thighinn gu bhith na fhòcas air mòran aire.
Ùine puist: Cèitean-11-2022