Aig an àm seo, tha cha mhòr a h-uile targaid copar meatailt fìor-ghlan àrd-ìre a dh ’fheumas gnìomhachas IC air an monopolachadh le grunn chompanaidhean mòra cèin.Feumar a h-uile targaid copair ultrapure a dh ’fheumas gnìomhachas dachaigheil IC a thoirt a-steach, rud a tha chan ann a-mhàin daor, ach cuideachd iom-fhillte ann am modhan in-mhalairt Mar sin, feumaidh Sìona gu h-èiginneach leasachadh agus dearbhadh targaidean sputtering copair fìor-ghlan (6N) a leasachadh. .Bheir sinn sùil air na prìomh phuingean agus na duilgheadasan ann a bhith a’ leasachadh thargaidean sputtering copair fìor-ghlan (6N).
1、Leasachadh stuthan fìor-ghlan fìor àrd
Tha an teicneòlas glanaidh de mheatailtean Cu, Al agus Ta àrd-ghlan ann an Sìona fada bho bhith ann an dùthchannan leasaichte gnìomhachais.Aig an àm seo, chan urrainn don mhòr-chuid de mheatailtean fìor-ghlan a tha air an toirt seachad coinneachadh ri riatanasan càileachd chuairtean amalaichte airson targaidean sputtering a rèir modhan sgrùdaidh àbhaisteach a h-uile eileamaid sa ghnìomhachas.Tha an àireamh de in-ghabhail san targaid ro àrd no air a chuairteachadh gu neo-chothromach.Bidh mìrean gu tric air an cruthachadh air an wafer aig àm sputtering, agus mar thoradh air sin bidh cuairt ghoirid no cuairteachadh fosgailte eadar-cheangail, a bheir buaidh mhòr air coileanadh an fhilm.
2、Leasachadh teicneòlas ullachaidh targaid sputtering copair
Tha leasachadh teicneòlas ullachaidh targaid sputtering copair gu sònraichte ag amas air trì taobhan: meud gràin, smachd treòrachadh agus èideadh.Tha na riatanasan as àirde aig a’ ghnìomhachas semiconductor airson targaidean sputtering agus falmhachadh stuthan amh.Tha riatanasan teann aige airson smachd a chumail air meud gràin uachdar agus stiùireadh criostail an targaid.Feumar smachd a chumail air meud gràin an targaid aig 100μ M gu h-ìosal, mar sin, tha smachd air meud gràin agus dòighean mion-sgrùdadh agus lorg co-dhàimh glè chudromach airson leasachadh targaidean meatailt.
3、Leasachadh mion-sgrùdadh agus a 'deuchainn teicneòlas
Tha fìor-ghlanachd an targaid a’ ciallachadh lùghdachadh neo-chunbhalachd.Anns an àm a dh’ fhalbh, chaidh plasma ceangailte le inductively (ICP) agus speactrometry in-ghabhail atamach a chleachdadh gus neo-chunbhalachd a dhearbhadh, ach anns na bliadhnachan mu dheireadh, chaidh mion-sgrùdadh càileachd sgaoilidh glaodh (GDMS) le cugallachd nas àirde a chleachdadh mean air mhean mar an ìre àbhaisteach. dòigh-obrach.Tha an dòigh RRR co-mheas iarmharach air a chleachdadh sa mhòr-chuid airson purrachd dealain a dhearbhadh.Is e am prionnsapal dearbhaidh aige purrachd bonn-mheatailt a mheasadh le bhith a’ tomhas an ìre de sgapadh dealanach de neo-chunbhalachd.Leis gu bheil e airson an aghaidh a thomhas aig teòthachd an t-seòmair agus teòthachd glè ìosal, tha e sìmplidh an àireamh a ghabhail.Anns na bliadhnachan mu dheireadh, gus sgrùdadh a dhèanamh air brìgh mheatailtean, tha an rannsachadh air purity ultra-àrd gu math gnìomhach.Anns a 'chùis seo, is e luach RRR an dòigh as fheàrr air purrachd a mheasadh.
Ùine puist: Cèitean-06-2022