Tha fios againn uile gur e sputtering aon de na prìomh theicneòlasan airson ullachadh stuthan film.Bidh e a’ cleachdadh na h-ianan a bhios an stòr ian a’ dèanamh gus an cruinneachadh ann am falamh a luathachadh gus beam ian àrd-astar a chruthachadh, a’ spreadhadh an uachdar cruaidh, agus na h-ianan ag iomlaid lùth cinneachail leis na dadaman air an uachdar cruaidh, gus am bi na dadaman air an uachdar cruaidh. uachdar fàg an cruaidh agus tasgadh air uachdar an t-substrate.Is e an solid bombarded an stuth amh airson film a thasgadh le sputtering, ris an canar sputtering target.
Tha diofar sheòrsaichean de stuthan film sputtered air an cleachdadh gu farsaing ann an cuairtean aonaichte semiconductor, meadhanan clàraidh, taisbeanadh planar, còmhdach uachdar inneal is bàs agus mar sin air adhart.
Tha targaidean sputtering air an cleachdadh sa mhòr-chuid ann an gnìomhachasan dealanach agus fiosrachaidh, leithid cuairtean amalaichte, stòradh fiosrachaidh, taisbeanaidhean criostal liùlach, cuimhneachain laser, uidheamachd smachd dealanach, msaa;Faodar a chleachdadh cuideachd ann an raon còmhdach glainne;Faodaidh e cuideachd a bhith air a chleachdadh ann an caitheamh-dhìonach stuthan, àrd Teòthachd an aghaidh creimeadh, àrd-deireadh stuthan sgeadachaidh agus gnìomhachasan eile.
Tha iomadh seòrsa de thargaidean sputtering ann, agus tha diofar dhòighean ann airson targaidean a sheòrsachadh:
A rèir an sgrìobhaidh, faodar a roinn ann an targaid meatailt, targaid alloy agus targaid todhar ceirmeag.
A rèir an cumadh, faodar a roinn ann an targaid fhada, targaid ceàrnagach agus targaid cruinn.
Faodar a roinn ann an targaid microelectronic, targaid clàradh magnetach, targaid diosc optigeach, targaid meatailt luachmhor, targaid dìon film, targaid film giùlain, targaid atharrachadh uachdar, targaid masg, targaid còmhdach sgeadachaidh, targaid electrode agus targaidean eile a rèir raon an tagraidh.
A rèir diofar thagraidhean, faodar a roinn ann an targaidean ceirmeag co-cheangailte ri semiconductor, a ’clàradh thargaidean ceirmeag meadhanach, a’ taisbeanadh targaidean ceirmeag, targaidean ceirmeag superconducting agus targaidean ceirmeag mòr magnetoresistance.
Ùine puist: Iuchar-29-2022