Tha mòran bhuaidhean aig an targaid, agus tha an raon leasachaidh margaidh mòr.Tha e gu math feumail ann an iomadh raon.Bidh cha mhòr a h-uile uidheamachd sputtering ùr a’ cleachdadh magnets cumhachdach gu dealanan shnìomhanach gus ionachadh argon timcheall an targaid a luathachadh, a’ leantainn gu àrdachadh ann an coltachd bualadh eadar an targaid agus ianan argon.A-nis leig dhuinn sùil a thoirt air àite sputtering targaid ann an còmhdach falamh.
Leasaich an ìre sputtering.San fharsaingeachd, thathas a’ cleachdadh sputtering DC airson còmhdach meatailt, fhad ‘s a thathas a’ cleachdadh sputtering RF AC airson stuthan magnetach ceirmeag neo-ghiùlain.Is e am prionnsapal bunaiteach a bhith a’ cleachdadh sgaoileadh glow gus ianan argon (AR) a bhualadh air uachdar an targaid ann am falamh, agus luathaichidh na cations anns a ’phlasma gus reubadh gu uachdar an electrode àicheil mar an stuth frasach.Bheir a’ bhuaidh seo air stuth an targaid itealaich a-mach agus a thasgadh air an t-substrate gus film a chruthachadh.
Anns an fharsaingeachd, tha grunn fheartan còmhdach film le bhith a 'sputtering phròiseas: (1) meatailt, alloy no insulator a dhèanamh a-steach film dàta.
(2) Fo chumhachan suidheachaidh iomchaidh, faodar am film leis an aon sgrìobhadh a dhèanamh bho thargaidean iomadach agus mì-rianail.
(3) Faodar am measgachadh no measgachadh de stuth targaid agus moileciuilean gas a thoirt gu buil le bhith a’ cur ocsaidean no gasaichean gnìomhach eile ris an àile sgaoilidh.
(4) Faodar smachd a chumail air sruth cuir a-steach targaid agus ùine sputtering, agus tha e furasta tighead film àrd-chruinneas fhaighinn.
(5) An coimeas ri pròiseasan eile, tha e cuideachail a bhith a 'dèanamh fhilmichean èideadh sgìre mhòr.
(6) Cha mhòr nach eil buaidh aig grabhataidh air na gràinean sputtered, agus faodar suidheachadh targaid agus substrate a chuir air dòigh gu saor.
Ùine puist: Cèitean-17-2022