Tha mòran dhleastanasan aig an targaid agus raon farsaing de thagraidhean ann an iomadh raon.Cha mhòr nach bi an uidheamachd sputtering ùr a’ cleachdadh magnets cumhachdach gus na dealanan a shnìomh gus ionachadh argon timcheall an targaid a luathachadh, a tha a’ meudachadh coltachd bualadh eadar an targaid agus ions argon,
Meudaich an ìre sputtering.San fharsaingeachd, thathas a’ cleachdadh sputtering DC airson còmhdach meatailt, fhad ‘s a thathas a’ cleachdadh sputtering conaltraidh RF airson stuthan magnetach ceirmeag neo-ghiùlain.Is e am prionnsapal bunaiteach a bhith a’ cleachdadh glaodh glow gus ianan argon (AR) a bhualadh air uachdar an targaid ann am falamh, agus luathaichidh na cations anns a’ phlasma gus reubadh gu uachdar an electrode àicheil mar an stuth frasach.Bheir a’ bhuaidh seo air stuth an targaid itealaich a-mach agus a thasgadh air an t-substrate gus film a chruthachadh.
San fharsaingeachd, tha grunn fheartan de chòmhdach film a 'cleachdadh a' phròiseas sputtering:
(1) Faodar meatailt, alloy no insuladair a dhèanamh ann an dàta film tana.
(2) Fo chumhachan suidheachaidh iomchaidh, faodar am film leis an aon sgrìobhadh a dhèanamh bho thargaidean iomadach agus mì-rianail.
(3) Faodar am measgachadh no measgachadh de stuth targaid agus moileciuilean gas a dhèanamh le bhith a’ cur ocsaidean no gasaichean gnìomhach eile ris an àile sgaoilidh.
(4) Faodar smachd a chumail air sruth cuir a-steach targaid agus ùine sputtering, agus tha e furasta tighead film àrd-chruinneas fhaighinn.
(5) Tha e buannachdail do riochdachadh filmichean eile.
(6) Cha mhòr gu bheil grabhataidh a’ toirt buaidh air na gràinean sputtered, agus faodar an targaid agus an t-substrate a chuir air dòigh gu saor.
Ùine puist: Cèitean-24-2022