Tha còmhdach sputtering Magnetron na dhòigh còmhdach vapor corporra ùr, an taca ris an dòigh còmhdach falmhachaidh na bu thràithe, tha na buannachdan aige ann an iomadh taobh gu math iongantach.Mar theicneòlas aibidh, chaidh sputtering magnetron a chuir an sàs ann an iomadh raon.
Prionnsabal sputtering Magnetron:
Tha raon magnetach orthogonal agus raon dealain air a chur ris eadar am pòla targaid sputtered (catod) agus an anod, agus tha an gas inert a tha a dhìth (mar as trice Ar gas) air a lìonadh anns an t-seòmar falamh àrd.Bidh an magnet maireannach a’ cruthachadh raon magnetach 250-350 gasaichean air uachdar an stuth targaid, agus tha an raon electromagnetic orthogonal air a dhèanamh suas leis an raon dealain bholtachd àrd.Fo bhuaidh raon dealain, bidh ionization gas Ar a-steach do ions dearbhach agus dealanan, ag amas air agus tha cuideam àicheil sònraichte, bhon targaid bhon phòla le buaidh raon magnetach agus àrdachadh coltachd ionization gas obrach, a ’cruthachadh plasma dùmhlachd àrd faisg air an cathode, Ar ion fo ghnìomhachd feachd lorentz, astar suas gus itealaich chun uachdar targaid, a ’toirt ionnsaigh air uachdar targaid aig astar àrd, Bidh na h-ataman sputtered air an targaid a’ leantainn prionnsapal tionndadh momentum agus ag itealaich air falbh bhon uachdar targaid le cinnt àrd lùth don fhilm tasgaidh substrate.
Tha sputtering Magnetron mar as trice air a roinn ann an dà sheòrsa: sputtering DC agus sputtering RF.Tha prionnsapal uidheamachd sputtering DC sìmplidh, agus tha an ìre luath nuair a bhios iad a ’spùtadh meatailt.Tha cleachdadh RF sputtering nas fharsainge, a bharrachd air a bhith a 'spùtadh stuthan giùlain, ach cuideachd a' sputtering stuthan neo-ghiùlain, ach cuideachd ag ullachadh sputtering reactive de ocsaidean, naitridean agus carbides agus stuthan cumanta eile.Ma tha tricead RF ag àrdachadh, bidh e na sputtering plasma microwave.Aig an àm seo, thathas a’ cleachdadh gu cumanta sputtering plasma microwave seòrsa ath-shuidheachadh electron cyclotron (ECR).
Stuth targaid còmhdach sputtering Magnetron:
Stuth targaid sputtering meatailt, còmhdach stuth còmhdach sputtering alloy, stuth còmhdach sputtering ceirmeag, stuthan targaid sputtering ceirmeach boride, stuth targaid sputtering ceirmeag carbide, stuth targaid sputtering ceirmeach fluoride, stuthan targaid sputtering ceirmeag nitride, targaid ceirmeag ogsaid, stuth targaid sputtering ceirmeag selenide, stuthan targaid sputtering ceirmeag silicide, stuth targaid sputtering ceirmeag sulfide, targaid sputtering ceirmeag Telluride, targaid ceirmeag eile, targaid ceirmeag sileacon ocsaid le cromium (CR-SiO), targaid indium phosphide (InP), targaid arsenide luaidhe (PbAs), indium arsenide targaid (InAs).
Ùine puist: Lùnastal-03-2022