Tungsten silicate
Tungsten silicate
Tha tungstain silicide WSi2 air a chleachdadh mar stuth clisgeadh dealain ann am microelectronics, shunting air uèirichean polysilicon, còmhdach anti-oxidation agus còmhdach uèir dìon.Thathas a’ cleachdadh silicide tungstain mar stuth conaltraidh ann am microelectronics, le resistivity 60-80μΩcm.Tha e air a chruthachadh aig 1000 ° C.Mar as trice bidh e air a chleachdadh mar shunt airson loidhnichean polysilicon gus a ghiùlan àrdachadh agus astar chomharran àrdachadh.Faodar an còmhdach tungsten Silicide ullachadh le tasgadh bhalbhaichean ceimigeach, leithid tasgadh bhalbhaichean.Cleachd monosilane no dichlorosilane agus tungsten hexafluoride mar stuth amh gas.Tha am film tasgaidh neo-stoichiometric agus feumar anailing a thionndadh gu cruth stoichiometric nas giùlain.
Faodaidh silicide tungstain a dhol an àite am film tungstain na bu thràithe.Tha silicide tungstain cuideachd air a chleachdadh mar chnap-starra eadar silicon agus meatailtean eile.
Tha silicide tungstain cuideachd glè luachmhor ann an siostaman microelectromechanical, am measg a bheil silicide tungsten air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar fhilm tana airson saothrachadh microcircuits.Airson an adhbhair seo, faodar am film silicide tungsten a shìneadh le plasma le bhith a’ cleachdadh, mar eisimpleir, silicide.
| EILE | Co-dhèanamh ceimigeach | |||||
| Eileamaid | W | C | P | Fe | S | Si |
| Susbaint (wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Cothromachadh |
Tha Rich Special Materials a’ speisealachadh ann a bhith a’ dèanamh Sputtering Target agus b’ urrainn dhaibh Stuthan Sputtering Tungsten Silicide a thoirt gu buil a rèir mion-chomharrachadh Luchd-ceannach.Airson tuilleadh fiosrachaidh, cuir fios thugainn.
